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晶圓環切取環設備
全自動晶圓環切取環設備
雙loadport上料,雙臂帶翻轉robot取料
設備特點
晶圓尺寸: 兼容8寸、12寸frame晶圓
雙全自動取環工位
高效精確解UV光源
環切精度<0.15mm
設備尺寸：2060mm*2050mm*2300mm（不含三色燈）
下載中心了解更專業的設備和服務
晶圓環切
下載
2024 / 12 / 12
